關鍵密封參數：??
| 指標 | API682標準 | 本產品性能 |
|---|---|---|
| 平面度 | ＜0.3μm | ??＜0.1μm? |
| 表面粗糙度Ra | ＜0.2μm | ?0.05μm? |
| 泄漏率(MPa·m³/s) | ＜10?? | ??＜10??? |
| 端面跳動 | ＜5μm | ??＜2μm? |
?超精密加工工藝：??
- ?金剛石研磨：??
- 粗磨：#2000金剛石砂輪（平面度5μm）
- 精磨：#8000樹脂盤（平面度0.5μm）
- ?化學機械拋光：??
- SiO?膠體拋光液（pH=10.5）
- 轉速20rpm，壓力0.1MPa
- ?在線監測：??
- 激光干涉儀實時校準（精度λ/20）
